半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导体技术高端品牌公测配套方案涉重污废水 ——MVR二次巡环零排工程
楼盘视频背景
半导体行业设备品质首测业务,人数150万每立方/天,是首支半导体行业设备首测设施涉重污水零排业务。首测过程的镀镍、镀铜、引线眼镜框架清洁工作会产生了含镍含铜污水,园林的要求"无尾水外排",产水全部的中水回用于产线。
土质共同点与难题
生产废水以含镍偏重于(浓度值10–100毫克/升),伴轻微铜、锌,pH价格波动大(2–12),还在光刻胶残留物的少量出有机化学物。测封厂场所紧,规定要求处理公共设施占地赔偿小;零排预兆着浓水没能土石方工程多少,就必须当地蒸馏晶体前馈。
除理工学艺路线图
建筑体走"分质征集 → 预进行处理除杂 → 化学式析出除镍 → 滤过 → UF+多级RO → MVR被迫循环法蒸馏 → 冷却水水循环":
含镍线先调pH到10–11,加药系统氢钝化的钠合成Ni(OH)₂沉淀物中,另加塑炼钠长度捕集器残渣镍(塑炼镍Ksp比氢钝化的镍更小,可让镍压到0.1毫克/升接下来);
析出溢水经多媒介筛选+安检员筛选后进UF,再进3级RO,产水会直接回产线除污;
RO浓水(含盐+残留物巨资属)进MVR强迫反复挥发器,强迫反复能扛高含盐积垢,挥发器附带手机在线的洗涤,难于堵;
MVR冷凝剂水来到工业废水处理池体,汽化残液委外焚化或最为垃圾应急处置,一整个作业区无液太外排。
重点系统长处代表
MVR禁止无限再循环相信硬性降膜减压蒸馏掉器,无限再循环流体密度高、热传导面不能结镍盐/碳酸盐垢,适当测封这一种"容量并不太但水质检测杂"的景象;立体式化撬装实施方案土地征用比传统型减压蒸馏掉器塘+多效减压蒸馏掉器实施方案小60%往上;异味重侧配套设施菌物滤池,把调试池和污泥干化间的异味重采集后挥发成CO₂和水,杜绝测封厂毗邻办公装修区的异味重投诉信。
补救感觉与作用
出液镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,远低于《塑料电镀被废弃物排污原则原则》表三;所有150立米米/天产水回收利用于首测产线的清洗,使用等量新鲜感水;危险废物(蒸馏残液+污泥处理)量比常用"沉积+排污原则"基本模式减约70%。对富士康侧,首测品牌绿色准入的卡点遭打通;