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硅烷废水处理案例|硅烷废水处理方法

某半导集成ic造成厂在晶圆代加工环节中,采用硅烷实现硅本质生長,排放干洗塔存在高含量含硅污水正确处理形式。污水正确处理形式兼备pH下降大(2-11)、硅含量高的性能,以往正确处理形式易产生硅垢空气能管道堵塞一些问题。 生活污水物质及的来源 废气重要基本成分为: 融解性硅酸盐 :SiO₂渗透压达1000-1500mg/L 氢脱色钠/氢脱色钠 :洗滌塔腐蚀性洗滌液残存 颗粒肥料硅 :納米级SiO₂氢氧化铁 痕量砷 :塑料原材料沉淀物进入 操作生产技术工作流程 去创新主要包括"两极采和+膜过滤水+蒸馏沉淀"方法: 两级中合 :用CaO调低pH至4-5,提取硅酸钙沉淀自己,硅我们要除率60%。 二次结合 :加Na₂CO₃将pH改善至9,进这一步沉定所剩硅,串并联用镁剂除砷。 反渗透膜体统 :0.02μm瓷器膜油烟净化器纳米技术级硅颗料,通量稳定性在80LMH。 MVR化掉器 :果汁高盐废水处理,晶粒出Na₂SO₄副类产品,水使用率超90%。 从而效率 总硅从1500mg/L降为5mg/L下例 砷硫含量从0.8mg/L减至0.01mg/L 软件无积垢运转大于2年 几乎每年回收处理盐酸钠硫化锌约800吨

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