该厂为8屏幕尺寸晶圆生產线生活设施的超蒸馏水系統，时刻呈现含硅废水补救150吨。废水补救中虽无巨资属，但硅量高易积灰，且阻值率需需求18MΩ·cm才行使用。固有补救技艺不了需求新修订的《電子实业水污染问题物废气规范规范》（GB39731-2020）尤其是废气规范标准值。 生产废水成份优缺点 包括感染物 ：电解质溶液硅（200-300mg/L）、颗粒物硅（粒度0.1-1μm） 特殊的的要求 ：TOC<10μg/L，硼分量<5μg/L 水质检测形态 ：低导电率（<50μS/cm）但硅有机化合物体型繁复 进行处理工艺设计方案 创新发展分为"梯级膜分离法+电去化合物"组合成流程： 微滤预除理 ：1μm淘瓷膜阻止大颗粒肥料硅，通量保持80LMH 化合物对调环氧树脂 ：D201大孔树脂材料进行性吸咐硅酸团伙 下级RO系统化 ：第一名段利用率60%，第二点段主要包括高脱硼膜电子器件 EDI电去阴离子 ：电流大小密度计算公式2A/m²，持续不断清掉的残留物正离子 太阳光的紫外线杀菌的 ：254nm红外光谱线的用药量40mJ/cm² 水平闪光点 搭建常用阻硅剂（巧妙胺类结合物），延长时间膜污染源时期3倍 EDI控制器技术创新流道规划，硅取除率大幅提升至99.8% 在线播放硅分折仪（在测量依据0.1-500μg/L）实行深度贫困控住 进行转化效果 经其次方监测： 总硅从280mg/L减至0.05mg/L 硼分子量从8μg/L下降0.3μg/L 系统的的回收利用率从原40%加快至68% 膜进行更换周期时间延伸至5年，年行驶成本投入减少35%