该晶圆加工制造商为于豫东省份,其主要制造8英尺半导体器件晶圆,单日废污水排卸量约800吨。因制造时候中食用过多盐酸进行晶圆蚀刻,使得废污池里氟化物有机废气浓度可以达到200-300mg/L,远超的国家排卸的标准(10mg/L一些)。
废污水的成分及特征
焦化废水关键存在几个环节:
晶圆蚀刻工艺流程
:含高质量浓度氟化物(HF)、硝酸银及少量出血本属
生物厂家打磨(CMP)生活污水
:含纳米级级硅粒状、巧妙络合剂
专用设备清洁工作废渣
:含异丙醇、挥发酚等设计物
外理加工制作工艺 步奏
采取"化学反应沉积+混凝土沉积+长度过滤装置"二级除理设计:
三级除理
:污泥脱水氯化钙和氢被氧化钙,达成氟化钙沉淀出的,氟化物去掉率达85%
三级清理
:增加PAC(配位碱式氯化铝)和PAM(聚丙酰胺),的还原氢氧化铁态环境破坏物
二级治理
:确认多材质过滤清洁器和催化活性炭降解降解,出水量氟化物盐浓度平衡在8mg/L如下
关键点装备以及:pH主动调结程序、斜管乳浊液池、板框带式压滤机(废水脱水怎么办)。
结果是使用效果
项目流程开机运行2年评估统计资料提示:
氟化物人均渗透压:7.2mg/L(降至國家细则)
COD去掉率:92%
生活污水含水分率:≤65%
年收废氟化钙副护肤品约150吨,进行成本化应用