半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
顶目游戏 背景
该公司为欧洲领跑的半导体材料公测公司,地属粤港澳大湾区型中南部,主要对其进行品质IC芯片的划区和装封试验。由是时间节能规定从严,公司决心颁布化工废水污水解决技术标准公程。顶目于明年无法,202两年多6月完成开工,解决总量为200吨/日,总进行投资约2000十万。
废水处理工艺材质及来源地
本项意义小学划片化工废水兼有以內优势:
高酸度氟化物,主要的是来自于晶圆切除后的擦洗工艺技术,氟亚铁离子酸度高达模型150-200mg/L
含带纳米级级硅粉颗粒物,粒度多在100-500nm彼此
无机加热器端差较高,COD在500-800mg/L
富含进样器巨资属如铅、镉等
电阻率高,通常情况下在2000-3000μS/cm
进行处理的工艺步骤
为确保零尾气排放指标,新工艺结构设计重在考虑一下污废水 分级收录和資源收废:
废水处理工艺定义汇集系统性
:将含氟废液与别废液独立回收
化学式水解除氟
:用于两极钙盐发展法,协调高效性发展池
高档阳极氧化正确处理
:老化离子液体空气氧化化学降解难正确处理设计物
膜浸提控制系统
:选用DTRO碟管式反融于,溶缩公因数为10倍
蒸发掉晶粒
:MVR机械厂水蒸气再缩小减压蒸馏器除理浓水
潮湿体统
:将晶体盐晾干后成为工艺副设备外售
治疗特效
装置行驶数据信息表现:
氟化物出掉率>99.9%,出水量氟阴阳离子<1mg/L
COD总出掉率>98%,有水出COD<20mg/L
自然资源英文回笼率>95%,仅行成少量的析出盐
第年可利用高的品质造纸废水处理水约5万吨
结晶体盐含量超过鑫霖环保级标准化,体现资源共享化借助
工程不只是保证 了电镀废水零尾气排放,还在資源二手回收创设了约80余万元/年的超额回报。